注意:因業務調整,暫不接受個人委托測試,望見諒。
檢測信息(部分)
問:晶片承載器是什么?
答:晶片承載器是一種用于半導體制造過程中固定、運輸或存儲晶圓的高精度器件,通常由耐高溫、耐腐蝕材料制成。
問:檢測范圍包括哪些領域?
答:涵蓋半導體制造、光伏產業、電子封裝等領域,適用于晶圓加工、清洗、光刻、蝕刻等工藝環節。
問:檢測的主要目的是什么?
答:確保承載器的尺寸精度、材料穩定性、表面潔凈度等性能符合行業標準,避免晶片污染或損壞。
檢測項目(部分)
- 尺寸精度:衡量承載器與晶圓接觸面的幾何公差,確保定位準確性。
- 表面粗糙度:評估微觀表面狀態,影響晶片貼合度和清潔效果。
- 耐高溫性:測試材料在高溫環境下的變形及穩定性。
- 抗化學腐蝕性:驗證材料對酸、堿等工藝試劑的耐受能力。
- 靜電消散性能:防止靜電積累導致晶片吸附污染物。
- 機械強度:包括抗壓、抗彎強度,確保結構可靠性。
- 熱膨脹系數:評估溫度變化對尺寸穩定性的影響。
- 氣密性:檢測密封結構是否有效隔絕外部污染物。
- 表面離子殘留:控制金屬離子污染,避免影響晶片良率。
- 耐磨性:測試長期使用后表面磨損程度。
- 材料純度:分析高分子或陶瓷材料的雜質含量。
- 負載能力:驗證承載器最大承重及分布均勻性。
- 清潔度等級:通過顆粒計數法判定潔凈度水平。
- 光學透射率:針對透明承載器的透光性能檢測。
- 振動耐受性:模擬運輸過程中抗振動能力。
- 濕度敏感性:評估高濕環境下的性能變化。
- 涂層附著力:檢測表面涂層的結合強度。
- 真空兼容性:測試在真空環境中的氣體釋放特性。
- 電磁屏蔽性:評估對電磁干擾的防護能力。
- 循環使用壽命:模擬重復使用后的性能衰減情況。
檢測范圍(部分)
- 晶圓傳輸盒(FOUP)
- 晶圓清洗承載架
- 光刻機用承載臺
- 真空鍍膜承載器
- 高溫退火托盤
- 陶瓷靜電耗散型承載器
- 聚合物注塑承載器
- 石英玻璃晶舟
- 硅片分選機承載組件
- 臨時存儲用晶圓盒
- 自動化搬運夾具
- 離子注入專用載具
- CMP工藝承載盤
- 晶圓探針測試卡盤
- 3D封裝堆疊載板
- 光伏硅片承載框架
- 微機電系統(MEMS)載具
- 藍寶石襯底承載器
- 化合物半導體載具
- 柔性顯示基板載具
檢測儀器(部分)
- 三坐標測量機(CMM)
- 激光掃描顯微鏡
- 熱重分析儀(TGA)
- 電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)
- 表面粗糙度測試儀
- 萬能材料試驗機
- 氣相色譜-質譜聯用儀(GC-MS)
- 氦質譜檢漏儀
- 靜電衰減測試儀
- 高低溫交變試驗箱
檢測流程
1、收到客戶的檢測需求委托。
2、確立檢測目標和檢測需求
3、所在實驗室檢測工程師進行報價。
4、客戶前期寄樣,將樣品寄送到相關實驗室。
5、工程師對樣品進行樣品初檢、入庫以及編號處理。
6、確認檢測需求,簽定保密協議書,保護客戶隱私。
7、成立對應檢測小組,為客戶安排檢測項目及試驗。
8、7-15個工作日完成試驗,具體日期請依據工程師提供的日期為準。
9、工程師整理檢測結果和數據,出具檢測報告書。
10、將報告以郵遞、傳真、電子郵件等方式送至客戶手中。
檢測實驗室(部分)
檢測優勢
1、綜合性檢測技術研究院等多項榮譽證書。
2、檢測數據庫知識儲備大,檢測經驗豐富。
3、檢測周期短,檢測費用低。
4、可依據客戶需求定制試驗計劃。
5、檢測設備齊全,實驗室體系完整
6、檢測工程師專業知識過硬,檢測經驗豐富。
7、可以運用36種語言編寫MSDS報告服務。
8、多家實驗室分支,支持上門取樣或寄樣檢測服務。
結語
以上是關于晶片承載器測試的檢測服務介紹,僅展示了部分檢測樣品和檢測項目,如有其它需求或疑問請咨詢在線工程師。